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电子束辐射法脱硫是一种脱硫新工艺，经过20的研究，已从小试、中试和工业示范逐步走向工业化。其主要特点是：过程为干法，不产生废水废渣;能同时脱硫脱硝，可达到90%以上的脱硫率和80%以上的脱硝率;系统简单，操作方便，过程易于控制;对于不同含硫量的烟气和烟气量的变化有较好的适应性和负荷跟踪性;副产品为硫酸铵和硝酸铵混合物，可用作化肥。
锅炉烟气经除尘后，进入冷却塔，在塔中由喷雾水冷却到65～70 ℃。在烟气进入反应器之前，按化学计量数注入相应的氨气。在反应器内，烟气经受电子束照射，烟气中的N2、O2和水蒸气等发生辐射反应，生成大量的离子、自由基、原子、电子和各种激发态的原子、分子等活性物质，它们将烟气中的SO2和NOX氧化为SO3和NO2。这些高价的硫氧化物和氮氧化物与水蒸气反应生成雾状的硫酸和硝酸，这些酸再与事先注入反应器的氨反应，生成硫酸铵和硝酸铵。后用静电除尘器收集气溶胶状的硫酸铵和硝酸铵，净化后的烟气经烟囱排放，副产品经造粒处理后可作化肥销售。
